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          快速退火爐介紹

          發布時間:2017-11-15  瀏覽次數:2268

          概述:
              快速退火爐是以碘鎢燈管為發熱元件,升溫速度快,采用S型熱電偶測溫并采用模糊PID控制,具有很高的控溫精度〈±5℃〉,快速退火爐具有真空裝置,可在多種氣氛下工作。僅僅是退火爐的一個小品種。
          技術參數:
          1、可在真空,惰性氣體(N2,Ar)環境下進行快速熱處理; 
          2、樣品直徑:4英寸; 
          3、最高溫度:1000℃; 
          4、升溫速度:100℃/Second; 
          5、降溫速度:80℃/Second; 
          6、溫度控制準確度:±1%; 
          7、最低真空度≤5×10-3 Torr; 
          8、功率:紅外鹵素鎢燈,1,250 W/ea ×11 lamps; 
          9、尺寸:760mm(W) × 400mm(D) × 400mm(H);
          主要特點:
          1, 腔體Chamber:腔體為鍍金工藝,金層有助于熱反射均勻;腔體為方形,帶有真空和氣體端口。 
          2,基底固定器 Substrate Holder:4英寸,石英。 
          3, 加熱器 Heater:11支紅外鹵素鎢燈,水冷。 
          4, 真空泵 Pump:分子渦輪泵(TMP),~ 10-6 Torr;旋葉式真空泵,~ 5*10-3 Torr; 
          5, 氣體模塊(包括質量流量控制器,MFC) Gas Module:氣體流量可控;316不銹鋼管,自動焊接、電解拋光工藝,VCR接口,液氦檢漏達到10E-8 Torr. L/sec.水平。 
          6, 控制模塊 Control Module:菜單可編輯,多程序快速溫度控制及處理。
          維修注意事項:
          1. 爐子首次使用或長時間不用后,要在120℃左右烘烤1小時,在300℃左右烘烤2小時后使用,以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度,以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內直接灌注各種液體及溶解金屬,保持爐內的清潔。
          2. 爐膛若采用石英管,當溫度高于1000℃時,石英管的高溫部分會出現不透明現象,這叫失透(又叫析晶性)是連熔石英管的一個固有缺陷,屬正常現象。
          3. 冷爐使用時,由于爐膛是冷的,須大量吸熱,所以低溫段升溫速率不易過快,各溫度段的升
          溫速率差別不易太大,設置升溫速率時應充分考慮所燒結材料的物理化學性質,以免出現噴料現象,污染爐管。
          4. 定期檢查溫度控制系統的電器連接部分的接觸是否良好,應特別注意加熱元件的各連接點的連接是否緊固。
          5. 爐子使用過一段時間后,若真空度降低,可分別更換不銹鋼法蘭盤之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤或更換修理真空系統,以提高系統的整體真空度。
          6. 爐子在工作過程中,一般在300℃左右若控制偏差還不能消除,出現溫度顯示值與程序給定值不符或擺動過大,檢查參數“M5、P、t”設置是否準確。
          7. 此爐適用于下列工作條件:
          (1)環境溫度在-10~75℃之間。
          (2)周圍環境的相對濕度不超過85%。
          (3)爐子周圍沒有導電塵埃,爆炸性氣體及嚴重破壞金屬和絕緣材料的腐蝕性氣體。
          (4)沒有明顯的傾斜﹑振動和顛簸。
          應用領域: 
          快速熱退火 
          快速熱氧化 
          快速熱氮化
          硅化
          擴散
          化合物半導體退火 
          離子注入后退火
          電極合金化 
          晶向化和堅化

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